点击图片查看大图
在等离子体增强过程中，表面反应的发生、性质和反应速率在很大程度上取决于入射粒子的动能。与辐射和反应焓等其他贡献 起，它是总能量流入的 部分，对等离子体处理的基底的表面性能至关重要。
ZIROX、NEOPLAS和莱布尼茨等离子体科学与技术研究所开发了 种新型探针，用于在表面处理过程中原位测量表面的真实能量流入。由此，可以对能量通量的大小和方向进行表征，并与材料的性质进行关联。
由于其对工艺参数变化的高灵敏度和相对较低的成本，主动热探针非常适合于工业或研究中等离子过程的有效质量控制和在线监测。
主动热探头适用于真空应用和温度高达450°C，能量通量高达2+/- 0.001 W/cm2。可变的探测总长度允许任何自定义版本。